Системы параметрического тестирования Keithley S530 / S535 / S540 / S500

Системы параметрического тестирования S530 предназначены для применения на производстве и в лабораториях, в которых используются самые разнообразные устройства и технологии, обеспечивая лучшую в отрасли гибкость при разработке плана тестирования, автоматизацию, интеграцию зондовых станций и возможности управления результатами испытаний. Компания Keithley имеет более чем 30-летний опыт поставки разнообразных стандартных и специальных параметрических тестеров клиентам во всем мире для разработки различных устройств.

Функции S530 
Легко адаптируется к новым требованиям к устройствам и испытаниям 
Быстрая, гибкая, интерактивная разработка плана испытаний 
Совместимость с популярными, полностью автоматизированными зондовыми станциями 
Опции для диапазона 1 кВ, снятия вольт-фарадной характеристики, генерации импульсов, измерения частоты, низковольтных измерений 
Совместимость с адаптером Keithley 9139A для зондовых станций 
Поддержка использования существующих библиотек для 5-дюймовых карт пробника 
Надежные приборы обеспечивают высокую точность и повторяемость измерений в лабораториях и на производстве 

Система приемки на уровне пластины S535  — это высокопроизводительное решение для тестирования на уровне пластины с высоким разрешением. Подходит для тестирования любых аналоговых, цифровых, силовых и гибридных устройств. В отличие от традиционных асинхронных параллельных схем тестирования, которые одновременно тестируют несколько устройств в одной точке, в системе S535 реализованы тесты с использованием мультипараллельного метода, когда одновременно выполняется тестирование нескольких устройств в нескольких точках. При этом длительность рабочего цикла датчика уменьшается не менее чем в два раза, а это значительно повышает производительность при снижении затрат на тестирование.

Особенности системы S535 
Автоматически выполняет все параметрические тесты на уровне пластины одновременно в нескольких точках или последовательно. Выполняет тестирование в двух или в четырех точках за одно касание пробника. 
До 64 тестовых контактов: четыре тестовые точки в параллельном режиме (по 16 контактов на точку), две точки в параллельном режиме (по 32 контакта на точку) или последовательная работа (64 контакта) 
Мощность до 100 Вт (100 В при 1 А или 200 В при 100 мА) 
Разрешение 1 фА, 10 нВ при высокоскоростном многоконтактном полностью автоматическом тестировании 
Системное программное обеспечение Keithley Test Environment (KTE) на базе Linux обеспечивает совместимость с ранними системами тестирования Keithley, удобную разработку тестов и быструю их реализацию. 
Инфраструктура платы пробника как в системе Keithley S530 обеспечивает совместимость с унаследованными системами S400   

Система параметрического тестирования 540  — это полностью автоматизированная система с 48 контактами для тестирования силовых полупроводниковых устройств и структур на уровне пластины до 3 кВ. Оптимизированная для использования с современными материалами на основе полупроводниковых соединений, включая карбид кремния (SiC) и нитрид галлия (GaN), полностью интегрированная система S540 позволяет выполнять все высоковольтные, низковольтные измерения, а также измерения емкости в одно касание пробника.

Функции S540 
Автоматическое проведение всех параметрических тестов на уровне пластины с использованием до 48 контактов, в том числе измерений высокого напряжения пробоя, емкости и низковольтных измерений в одно касание пробника без замены кабелей или инфраструктуры зондовой платы 
Проведение измерений емкости транзистора (Ciss, Coss и Crss) до 3 кВ без изменения конфигурации контрольных контактов вручную 
Обеспечение эффективности измерений низкого уровня в высокоскоростной, многоконтактной, полностью автоматизированной тестовой среде 
Системное программное обеспечение Keithley Test Environment (KTE) на базе Linux обеспечивает удобную разработку тестов и быструю их реализацию 
Идеально подходит для полностью или наполовину автоматизированных приложений, применяемых в интеграции процессов, мониторинге технологических процессов и промышленной сортировке кристаллов 
Снижение стоимости владения за счет минимизации времени тестирования, времени настройки для испытания и занимаемой площади при обеспечении производительности измерений лабораторного класса 

Комплексные параметрические тестеры S500  — это конфигурируемые системы приборов для определения характеристик полупроводников на уровне устройства, пластины или кассеты. Разработанные на основе проверенного оборудования, комплексные параметрические тестеры S500 обеспечивают новаторские возможности измерений и гибкость системы, масштабируемой в соответствии с задачами заказчика. Уникальные возможности измерений и мощное программное обеспечение Automated Characterization Suite (ACS) обеспечивают широчайший диапазон применения и возможностей, недостижимый для других аналогичных систем на рынке. 

Особенности S500
Технические характеристики полнофункционального источника-измерителя (SMU), включая измерения в субфемтоамперном диапазоне, обеспечивают широкий диапазон измерений почти на любом устройстве.
Генерация импульсов и измерение вольт-амперных характеристик в импульсном режиме для тестирования памяти, накачки заряда, анализа количества ловушек заряда, предотвращения саморазогрева (импульсный режим со свипированием).
Мало- или многоканальные системы, включая параллельное тестирование, с масштабируемыми системными источниками-измерителями Keithley.
Высоковольтные, сильноточные и высокомощные источники-измерители для тестирования таких устройств, как мощные полевые МОП-транзисторы и устройства управления дисплеем.
Коммутаторы, платы пробников и кабели обеспечивают полное подключение системы к проверяемому устройству.