Анализатор 4200A-SCS позволяет ускорить разработку процессов производства, исследования, а также анализ надёжности и отказов полупроводниковых приборов и материалов. Этот параметрический анализатор демонстрирует непревзойдённую производительность, одновременно выполняя измерения ВАХ (I-V), вольт-фарадных характеристик и сверхбыстрые измерения импульсных ВАХ.
Подробнее
Описание
Параметрический анализ, быстрый и понятный.
Подключение к новейшим разработкам ещё никогда не было таким простым. Параметрический анализатор 4200A-SCS существенно снижает сложность определения характеристик и вдвое сокращает длительность настройки тестирования, предоставляя проверенные и понятные инструменты для измерений и анализа. К этому необходимо добавить интегрированный в прибор опыт измерений — впервые в отрасли в прибор встроено руководство по тестированию, обеспечивающее надёжность получаемых результатов.
Основные преимущества:
Встроенное видеоруководство по измерениям на английском, китайском, японском и корейском языке
Мгновенная подготовка к тестированию при помощи сотен подстраиваемых под требования пользователя тестовых программ
Автоматизированное отображение параметров в режиме реального времени, графики данных, арифметические функции
Точные измерения ВФХ
Ёмкости фарадного диапазона можно измерять при помощи новейшего модуля Keithley 4215-CVU, предназначенного для определения ВФХ. За счёт интеграции источника напряжения 1 В переменного тока в лучший в отрасли модуль для измерений ВФХ, прибор 4215-CVU Keithley может измерять ёмкости на частотах от 1 кГц до 10 МГц с минимальным уровнем шумов.
Основные преимущества
- Лучший в своём классе приборов модуль для измерений ВФХ с источником напряжения 1 В переменного тока
- Разрешение по частоте 1 кГц в диапазоне от 1 кГц до 10 Мгц
- Измерения ёмкостей, полной и комплексной проводимости
- Возможность использования до четырёх каналов для измерений при подключении коммутатора 4200A-CVIV Multiswitch
- Измерения фемтофарадных (1e-15Ф) ёмкостей при помощи модуля 4215-CVU
Измерение. Переключение. И возврат.
Модуль Multi-Switch анализатора 4200A-CVIV автоматически переключает измерения I-V на C-V без переключения измерительных проводов или замены наконечников пробников. В отличие от аналогичных приборов, выпускаемых конкурентами, на дисплей четырёхканального прибора 4200A-CVIV выводится визуальная информация, помогающая быстро настроить тестирование и легко найти неполадки при появлении неожидаемых результатов.
Основные преимущества:
- Переход на измерения C-V на любом выводе прибора без переключения измерительных проводов
- Адаптируемая под требования пользователя функция измерения низких токов
- Переименование выходных каналов
- Просмотр статуса тестирования в режиме реального времени
Стабильные измерения малых токов для определения ВАХ
Модули 4201-SMU и 4211-SMU помогают добиться высокой точности и повторяемости измерений малых токов в системе с большими ёмкостями. Выбирая требуемый модуль из четырёх разных моделей источников-измерителей (SMU), можно настроить анализатор 4200A-SCS под любые требования заказчиков к измерениям ВАХ. Кроме того, предлагая SMU с установкой в полевых условиях и дополнительные модули предусилителей, компания Keithley обеспечивает самую высокую точность измерений малых токов при незначительном простое либо вообще без простоев оборудования.
Основные преимущества
- Добавление модуля SMU без пересылки прибора изготовителю
- Измерения фемтоамперных токов
- До 9 каналов SMU
- Модули оптимизированы для работы с длинными кабелями или большими держателями испытуемых устройств
Характеристики. Адаптация под заказчика. Максимум испытаний.
Анализатор 4200A-SCS — это полностью обновляемый и полностью настраиваемый под требования заказчика прибор, позволяющий определять электрические характеристики и оценку полупроводниковых приборов, новых материалов, активных/пассивных компонентов, надёжность подложки, анализировать неполадки, электрохимические показатели или практически любые образцы.
Основные преимущества:
Тестирование NBTI/PBTI (температурной нестабильности при отрицательном/положительном смещении)
Измерение случайного телеграфного шума
Тестирование устройств с энергонезависимой памятью
Тесты с применением потенциостата
Комплексное решение с применением испытательных устройств и контроллеров, работающих при криогенных температурах.
Параметрический анализатор 4200A-SCS может работать совместно с рядом ручных и полуавтоматических устройств для испытаний схем на полупроводниковой пластине и контроллерами, работающими при криогенных температурах, такими как Cascade MicroTech, Lucas Labs/Signatone, MicroManipulator, Wentworth Laboratories, LakeShore модель 336.
Основные преимущества
- Простота тестирования — нужно только «указать и щёлкнуть»
- Режим ручного тестирования с функциями автоматического
- Режим отключения пробника позволяет выполнять отладку без удавления команд пробника
Надёжность полупроводниковых приборов
Анализатор 4200A-SCS позволяет выполнять комплексное тестирование надёжности без необходимости сложного кодирования. Встроенные в прибор планы тестирования, такие как оценка деградации горячих носителей (HCI), покрывают основные требования к анализу устройств.
Оценка деградации полевых МОП-транзисторов вследствие инжекции горячих носителей
Основные преимущества
Измерения ВАХ постоянного тока, ВФХ и импульсных характеристик в одном наборе тестов
Поддержка многих измерительных станций и внешних приборов
Простая в использовании система контроля циклов позволяет выполнять повторные измерения без кодирования
Определение характеристик биосенсоров
Биосенсоры или полевые транзисторы на основе биосенсора преобразуют биологический отклик на анализируемое вещество в электрический сигнал. Программное обеспечение Clarius, встроенное в анализатор 4200A-SCS, содержит процедуру тестирования полевых транзисторов на основе биосенсора. Этой процедурой можно воспользоваться как первым этапом процесса определения передаточных и выходных характеристик биосенсоров, по результатам которого можно двигаться дальше.
Чтобы подготовиться к работе, загрузите руководство по применению анализатора для тестирования биосенсоров
Измерения ёмкостей фемтофарадного диапазона
Ёмкости до 1 фемтофарада можно измерять при помощи модуля 4215-CVU. Так, при измерении ёмкости 1 фФ модулем 4215-CVU в режиме подачи управляющего напряжения 1 В переменного тока можно снизить уровень шума до шести аттофарад. И это только одна из нескольких десятков областей применения, которые интегрированы в ПО Clarius и используются для измерения ёмкостей и определения важных параметров.
Измерения фемтофарадных (1e-15Ф) ёмкостей при помощи модуля 4215-CVU
Оптимальные измерения ёмкостей и комплексного сопротивления переменному току
Основные преимущества
- Встроенная функция измерения фемтофарадных ёмкостей
- 10 000 выборок частоты в диапазоне от 1 кГц до 10 Мгц
- Пользовательская настройка любого теста для любого устройства при помощи библиотеки пользователя
Надёжность полупроводниковых приборов и энергонезависимой памяти
При тестировании новых разработок может понадобиться точное определение импульсных вольт-амперных характеристик. В анализаторе 4200A-SCS предусмотрена поддержка и готовые тесты для устройств энергонезависимой памяти (NVRAM) — от ячеек флеш-памяти с плавающим затвором до резистивной и ферроэлектрической памяти с произвольным доступом (ReRAM и FeRAM). Возможность одновременной работы прибора в режиме источника и измерителя тока и напряжения позволяет определять характеристики переходных процессов и ВАХ.
Оценка деградации полевых МОП-транзисторов вследствие инжекции горячих носителей
Решения по измерению наносекундных импульсов, необходимые для тестирования энергонезависимой памяти
Определение импульсных ВАХ энергонезависимой памяти
Измерения вольт-фарадных характеристик высокоимпедансных устройств
Технология Keithley для измерений ВФХ при очень низких частотах, адаптируемая под требования заказчиков, предназначена для анализа ёмкости высокоимпедансных образцов. Обычно измерения выполняются только при помощи анализаторов и источников-измерителей, но для более высоких частот может также понадобиться модуль 4210-CVU.
Измерения ВФХ высокоимпедансных приборов на очень низких частотах при помощи параметрического анализатора 4200A-SCS
Методы и рекомендации для упрощения измерения характеристик полевых МОП-транзисторов и МОП-конденсаторов
Основные преимущества
Диапазон частот от 0,01 до 10 Гц, чувствительность от 1 пФ до 10 нФ
Стандартное разрешение 3½ разряда, минимальная ёмкость 10 фФ
Тестирование при использовании длинных кабелей или оснастки с большими ёмкостями
Если при тестировании необходимы длинные кабели или оснастка с большими ёмкостями, рекомендуется использование источников-измерителей 4201 или 4211-SMU. Эти источники-измерители тестирования жидкокристаллических элементов, зондовым устройствам, коммутационным матрицам, а также многим другим большим или сложным системам тестирования. Модели с возможностью установки в полевых условиях позволяют расширять возможности систем тестирования без возврата прибора в сервисный центр.
Стабильные измерения малых токов при помощи модулей 4201-SMU и 4211-SMU в системах с большими ёмкостями тестовых соединений
Энергонезависимая память
При тестировании новых разработок может понадобиться точное определение импульсных вольт-амперных характеристик. В анализаторе 4200A-SCS предусмотрена поддержка и готовые тесты для устройств энергонезависимой памяти (NVRAM) — от ячеек флеш-памяти с плавающим затвором до резистивной и ферроэлектрической памяти с произвольным доступом (ReRAM и FeRAM). Возможность одновременной работы прибора в режиме источника и измерителя тока и напряжения позволяет определять характеристики переходных процессов и ВАХ.
Определение импульсных ВАХ энергонезависимой памяти
Тестирование лазеров поверхностного излучения с вертикальным резонатором (VCSEL)
При помощи нескольких согласованных источников-измерителей (SMU), установленных в анализаторе 4200A-SCS, можно существенно упростить тестирование лазерных диодов. Характеристики LIV (интенсивность света, ток, напряжение) определяются при подключении только к одному блоку. Поддержка усовершенствованной измерительной станции и переключения блоков означает, что при помощи одного и того же прибора можно выполнять заводские испытания отдельных диодов или всей матрицы на стадии пластины. В анализатор можно установить источники-измерители мощностью до 21 Вт для анализа множества гармонических сигналов (CW) лазерных диодов VCSEL разного назначения.
Определение характеристик наноразмерных устройств
Благодаря блочной архитектуре, анализатор 4200A-SCS может упростить требования к измерениям в быстро развивающейся наноэлектронике, в частности к тестированию углеродных нанотрубок. Исследования нужно начинать с предварительно заданного плана тестирования и на его основе расширять измерения. Импульсный режим работы источников-измерителей (SMU), решающий проблему перегрева, можно использовать для секундных измерений ВПФ при низком напряжении и сверхбыстрых импульсных ВАХ.
Определение электрических характеристик транзисторов на углеродных нанотрубках (CNT FET)
Определение характеристик полевых МОП-транзисторов
В анализатор 4200A-SCS можно встроить все приборы, необходимые для определения всех характеристик МОП-структур путём тестирования отдельных элементов или пластины. Встроенные в прибор тесты и планы тестирования помогают определить толщину оксидного слоя МОП-конденсатора, пороговые напряжения, концентрацию примесей, концентрацию подвижных ионов и другие характеристики. Все эти тесты запускаются простым нажатием кнопки на одном приборе.
Определение вольт-фарадных характеристик МОП-конденсаторов при помощи параметрического анализатора 4200A-SCS
Automated Control from Lab to Fab
Keithley's Automated Characterization Suite (ACS) offers complete control of your equipment. Whether you need to control a few instruments on your bench, or automate an entire test rack for production, ACS offers a flexible, interactive environment for device characterization, parametric test, reliability test, and simple functional test.
Perform simple 1-off tests or build complex project trees
Code with Python inside ACS for unlimited flexibility and control
Manual or automated wafer prober control
Data management and statistical analysis capabilities
Программный пакет Clarius+ для анализа параметров
Пакет программного обеспечения Clarius+ значительно упрощает определение и анализ характеристик материалов и устройств. Программа встраивается в анализатор 4200A-SCS и обеспечивает планирование, настройку и анализ результатов испытаний. Кроме того, ПО Clarius можно установить на любой ПК с ОС Windows 10 и с её помощью планировать и настраивать испытания перед выполнением в лаборатории, либо анализировать собранные данные.
- Более 200 предварительно настроенных тестов для ускорения лабораторных испытаний
- Рекомендуемые данные, собранные инженерами Keithley в реальных ситуациях
- Встроенная контекстная справка и руководства по применению
- Режим мониторинга (Monitor) для просмотра результатов в реальном времени
Видеоматериалы:
Top 7 Characterization Tests for MOSFETs
Make I-V and C-V Measurements up to 2X Faster with the 4200A-SCS Parameter Analyzer
Nanoseconds or Nanometers Going for Single Digits with Next-Generation Semiconductor Technologies
How to make automatic I-V and C-V measurements
Improving Characterization and Measurement Practices for Research
Sensors and Semiconductors Testing Materials for Tomorrows Smart Devices
Tips and Techniques to Simplify MOSFET-MOSCAP Device Characterization
SiC- GaN Components - 5 Key Tests
4200A-SCS Parameter Analyzer Product Overview Video
Подключение к новейшим разработкам ещё никогда не было таким простым. Параметрический анализатор 4200A-SCS существенно снижает сложность определения характеристик и вдвое сокращает длительность настройки тестирования, предоставляя проверенные и понятные инструменты для измерений и анализа. К этому необходимо добавить интегрированный в прибор опыт измерений — впервые в отрасли в прибор встроено руководство по тестированию, обеспечивающее надёжность получаемых результатов.
Основные преимущества:
Встроенное видеоруководство по измерениям на английском, китайском, японском и корейском языке
Мгновенная подготовка к тестированию при помощи сотен подстраиваемых под требования пользователя тестовых программ
Автоматизированное отображение параметров в режиме реального времени, графики данных, арифметические функции
Точные измерения ВФХ
Ёмкости фарадного диапазона можно измерять при помощи новейшего модуля Keithley 4215-CVU, предназначенного для определения ВФХ. За счёт интеграции источника напряжения 1 В переменного тока в лучший в отрасли модуль для измерений ВФХ, прибор 4215-CVU Keithley может измерять ёмкости на частотах от 1 кГц до 10 МГц с минимальным уровнем шумов.
Основные преимущества
- Лучший в своём классе приборов модуль для измерений ВФХ с источником напряжения 1 В переменного тока
- Разрешение по частоте 1 кГц в диапазоне от 1 кГц до 10 Мгц
- Измерения ёмкостей, полной и комплексной проводимости
- Возможность использования до четырёх каналов для измерений при подключении коммутатора 4200A-CVIV Multiswitch
- Измерения фемтофарадных (1e-15Ф) ёмкостей при помощи модуля 4215-CVU
Измерение. Переключение. И возврат.
Модуль Multi-Switch анализатора 4200A-CVIV автоматически переключает измерения I-V на C-V без переключения измерительных проводов или замены наконечников пробников. В отличие от аналогичных приборов, выпускаемых конкурентами, на дисплей четырёхканального прибора 4200A-CVIV выводится визуальная информация, помогающая быстро настроить тестирование и легко найти неполадки при появлении неожидаемых результатов.
Основные преимущества:
- Переход на измерения C-V на любом выводе прибора без переключения измерительных проводов
- Адаптируемая под требования пользователя функция измерения низких токов
- Переименование выходных каналов
- Просмотр статуса тестирования в режиме реального времени
Стабильные измерения малых токов для определения ВАХ
Модули 4201-SMU и 4211-SMU помогают добиться высокой точности и повторяемости измерений малых токов в системе с большими ёмкостями. Выбирая требуемый модуль из четырёх разных моделей источников-измерителей (SMU), можно настроить анализатор 4200A-SCS под любые требования заказчиков к измерениям ВАХ. Кроме того, предлагая SMU с установкой в полевых условиях и дополнительные модули предусилителей, компания Keithley обеспечивает самую высокую точность измерений малых токов при незначительном простое либо вообще без простоев оборудования.
Основные преимущества
- Добавление модуля SMU без пересылки прибора изготовителю
- Измерения фемтоамперных токов
- До 9 каналов SMU
- Модули оптимизированы для работы с длинными кабелями или большими держателями испытуемых устройств
Характеристики. Адаптация под заказчика. Максимум испытаний.
Анализатор 4200A-SCS — это полностью обновляемый и полностью настраиваемый под требования заказчика прибор, позволяющий определять электрические характеристики и оценку полупроводниковых приборов, новых материалов, активных/пассивных компонентов, надёжность подложки, анализировать неполадки, электрохимические показатели или практически любые образцы.
Основные преимущества:
Тестирование NBTI/PBTI (температурной нестабильности при отрицательном/положительном смещении)
Измерение случайного телеграфного шума
Тестирование устройств с энергонезависимой памятью
Тесты с применением потенциостата
Комплексное решение с применением испытательных устройств и контроллеров, работающих при криогенных температурах.
Параметрический анализатор 4200A-SCS может работать совместно с рядом ручных и полуавтоматических устройств для испытаний схем на полупроводниковой пластине и контроллерами, работающими при криогенных температурах, такими как Cascade MicroTech, Lucas Labs/Signatone, MicroManipulator, Wentworth Laboratories, LakeShore модель 336.
Основные преимущества
- Простота тестирования — нужно только «указать и щёлкнуть»
- Режим ручного тестирования с функциями автоматического
- Режим отключения пробника позволяет выполнять отладку без удавления команд пробника
Анализатор 4200A-SCS позволяет выполнять комплексное тестирование надёжности без необходимости сложного кодирования. Встроенные в прибор планы тестирования, такие как оценка деградации горячих носителей (HCI), покрывают основные требования к анализу устройств.
Оценка деградации полевых МОП-транзисторов вследствие инжекции горячих носителей
Основные преимущества
Измерения ВАХ постоянного тока, ВФХ и импульсных характеристик в одном наборе тестов
Поддержка многих измерительных станций и внешних приборов
Простая в использовании система контроля циклов позволяет выполнять повторные измерения без кодирования
Определение характеристик биосенсоров
Биосенсоры или полевые транзисторы на основе биосенсора преобразуют биологический отклик на анализируемое вещество в электрический сигнал. Программное обеспечение Clarius, встроенное в анализатор 4200A-SCS, содержит процедуру тестирования полевых транзисторов на основе биосенсора. Этой процедурой можно воспользоваться как первым этапом процесса определения передаточных и выходных характеристик биосенсоров, по результатам которого можно двигаться дальше.
Чтобы подготовиться к работе, загрузите руководство по применению анализатора для тестирования биосенсоров
Измерения ёмкостей фемтофарадного диапазона
Ёмкости до 1 фемтофарада можно измерять при помощи модуля 4215-CVU. Так, при измерении ёмкости 1 фФ модулем 4215-CVU в режиме подачи управляющего напряжения 1 В переменного тока можно снизить уровень шума до шести аттофарад. И это только одна из нескольких десятков областей применения, которые интегрированы в ПО Clarius и используются для измерения ёмкостей и определения важных параметров.
Измерения фемтофарадных (1e-15Ф) ёмкостей при помощи модуля 4215-CVU
Оптимальные измерения ёмкостей и комплексного сопротивления переменному току
Основные преимущества
- Встроенная функция измерения фемтофарадных ёмкостей
- 10 000 выборок частоты в диапазоне от 1 кГц до 10 Мгц
- Пользовательская настройка любого теста для любого устройства при помощи библиотеки пользователя
Надёжность полупроводниковых приборов и энергонезависимой памяти
При тестировании новых разработок может понадобиться точное определение импульсных вольт-амперных характеристик. В анализаторе 4200A-SCS предусмотрена поддержка и готовые тесты для устройств энергонезависимой памяти (NVRAM) — от ячеек флеш-памяти с плавающим затвором до резистивной и ферроэлектрической памяти с произвольным доступом (ReRAM и FeRAM). Возможность одновременной работы прибора в режиме источника и измерителя тока и напряжения позволяет определять характеристики переходных процессов и ВАХ.
Оценка деградации полевых МОП-транзисторов вследствие инжекции горячих носителей
Решения по измерению наносекундных импульсов, необходимые для тестирования энергонезависимой памяти
Определение импульсных ВАХ энергонезависимой памяти
Измерения вольт-фарадных характеристик высокоимпедансных устройств
Технология Keithley для измерений ВФХ при очень низких частотах, адаптируемая под требования заказчиков, предназначена для анализа ёмкости высокоимпедансных образцов. Обычно измерения выполняются только при помощи анализаторов и источников-измерителей, но для более высоких частот может также понадобиться модуль 4210-CVU.
Измерения ВФХ высокоимпедансных приборов на очень низких частотах при помощи параметрического анализатора 4200A-SCS
Методы и рекомендации для упрощения измерения характеристик полевых МОП-транзисторов и МОП-конденсаторов
Основные преимущества
Диапазон частот от 0,01 до 10 Гц, чувствительность от 1 пФ до 10 нФ
Стандартное разрешение 3½ разряда, минимальная ёмкость 10 фФ
Тестирование при использовании длинных кабелей или оснастки с большими ёмкостями
Если при тестировании необходимы длинные кабели или оснастка с большими ёмкостями, рекомендуется использование источников-измерителей 4201 или 4211-SMU. Эти источники-измерители тестирования жидкокристаллических элементов, зондовым устройствам, коммутационным матрицам, а также многим другим большим или сложным системам тестирования. Модели с возможностью установки в полевых условиях позволяют расширять возможности систем тестирования без возврата прибора в сервисный центр.
Стабильные измерения малых токов при помощи модулей 4201-SMU и 4211-SMU в системах с большими ёмкостями тестовых соединений
Удельное сопротивление материалов
При помощи анализатора 4200A-SCS со встроенными источниками-измерителями (SMU) можно намного проще измерять удельное сопротивление, используя четырёхзондовый метод измерения двумерного сопротивления или метод ван дер Пау. Встроенные в прибор тесты автоматически запускают повторяемые расчёты ван дер Пау, сокращая затраты времени при разработке. Максимальное разрешение по току 10 аА и входной импеданс больше 1016 Ом обеспечивают более точные и достоверные результаты.
Измерения удельного сопротивления материалов с использованием параметрического анализатора 4200A-SCS и четырёхзондового метода измерения
Измерение напряжения Холла методом ван дер Пау при помощи параметрического анализатора 4200A-SCS
При помощи анализатора 4200A-SCS со встроенными источниками-измерителями (SMU) можно намного проще измерять удельное сопротивление, используя четырёхзондовый метод измерения двумерного сопротивления или метод ван дер Пау. Встроенные в прибор тесты автоматически запускают повторяемые расчёты ван дер Пау, сокращая затраты времени при разработке. Максимальное разрешение по току 10 аА и входной импеданс больше 1016 Ом обеспечивают более точные и достоверные результаты.
Измерения удельного сопротивления материалов с использованием параметрического анализатора 4200A-SCS и четырёхзондового метода измерения
Измерение напряжения Холла методом ван дер Пау при помощи параметрического анализатора 4200A-SCS
Энергонезависимая память
При тестировании новых разработок может понадобиться точное определение импульсных вольт-амперных характеристик. В анализаторе 4200A-SCS предусмотрена поддержка и готовые тесты для устройств энергонезависимой памяти (NVRAM) — от ячеек флеш-памяти с плавающим затвором до резистивной и ферроэлектрической памяти с произвольным доступом (ReRAM и FeRAM). Возможность одновременной работы прибора в режиме источника и измерителя тока и напряжения позволяет определять характеристики переходных процессов и ВАХ.
Определение импульсных ВАХ энергонезависимой памяти
Тестирование лазеров поверхностного излучения с вертикальным резонатором (VCSEL)
При помощи нескольких согласованных источников-измерителей (SMU), установленных в анализаторе 4200A-SCS, можно существенно упростить тестирование лазерных диодов. Характеристики LIV (интенсивность света, ток, напряжение) определяются при подключении только к одному блоку. Поддержка усовершенствованной измерительной станции и переключения блоков означает, что при помощи одного и того же прибора можно выполнять заводские испытания отдельных диодов или всей матрицы на стадии пластины. В анализатор можно установить источники-измерители мощностью до 21 Вт для анализа множества гармонических сигналов (CW) лазерных диодов VCSEL разного назначения.
Определение характеристик наноразмерных устройств
Благодаря блочной архитектуре, анализатор 4200A-SCS может упростить требования к измерениям в быстро развивающейся наноэлектронике, в частности к тестированию углеродных нанотрубок. Исследования нужно начинать с предварительно заданного плана тестирования и на его основе расширять измерения. Импульсный режим работы источников-измерителей (SMU), решающий проблему перегрева, можно использовать для секундных измерений ВПФ при низком напряжении и сверхбыстрых импульсных ВАХ.
Определение электрических характеристик транзисторов на углеродных нанотрубках (CNT FET)
Определение характеристик полевых МОП-транзисторов
В анализатор 4200A-SCS можно встроить все приборы, необходимые для определения всех характеристик МОП-структур путём тестирования отдельных элементов или пластины. Встроенные в прибор тесты и планы тестирования помогают определить толщину оксидного слоя МОП-конденсатора, пороговые напряжения, концентрацию примесей, концентрацию подвижных ионов и другие характеристики. Все эти тесты запускаются простым нажатием кнопки на одном приборе.
Определение вольт-фарадных характеристик МОП-конденсаторов при помощи параметрического анализатора 4200A-SCS
Automated Control from Lab to Fab
Keithley's Automated Characterization Suite (ACS) offers complete control of your equipment. Whether you need to control a few instruments on your bench, or automate an entire test rack for production, ACS offers a flexible, interactive environment for device characterization, parametric test, reliability test, and simple functional test.
Perform simple 1-off tests or build complex project trees
Code with Python inside ACS for unlimited flexibility and control
Manual or automated wafer prober control
Data management and statistical analysis capabilities
Программный пакет Clarius+ для анализа параметров
Пакет программного обеспечения Clarius+ значительно упрощает определение и анализ характеристик материалов и устройств. Программа встраивается в анализатор 4200A-SCS и обеспечивает планирование, настройку и анализ результатов испытаний. Кроме того, ПО Clarius можно установить на любой ПК с ОС Windows 10 и с её помощью планировать и настраивать испытания перед выполнением в лаборатории, либо анализировать собранные данные.
- Более 200 предварительно настроенных тестов для ускорения лабораторных испытаний
- Рекомендуемые данные, собранные инженерами Keithley в реальных ситуациях
- Встроенная контекстная справка и руководства по применению
- Режим мониторинга (Monitor) для просмотра результатов в реальном времени
Модель | Описание |
4200A-SCS-PK1 с высоким разрешением, измерение I-V |
210 В/100 мA, разрешение 0,1 фА Для определения характеристик двух- и трёхвыводных элементов, полевых МОП-транзисторов, КМОП-элементов. В комплект 4200A-SCS-PK1 входят: - параметрический анализатор 4200A-SCS - (2) Модуль 4200-SMU - (1) Предусилитель 4200-PA - (1) Тестовая оснастка с приставкой для тестирования 8101-PIV |
4200A-SCS-PK2 с высоким разрешением, измерение I-V и C-V |
210 В/100 мA, разрешение 0,1 фА, от 1 кГц до 10 МГц Для определения характеристик элементов с высокой диэлектрической проницаемостью к и субмикронных КМОП-элементов. В комплект 4200A-SCS-PK2 входят: - параметрический анализатор 4200A-SCS - (2) Модуль 4200-SMU - (1) Предусилитель 4200-PA - (1) Модуль измерения вольт-фарадных характеристик 4210-CVU - (1) Тестовая оснастка с приставкой для тестирования 8101-PIV |
4200A-SCS-PK3 с высоким разрешением, для мощных элементов, измерение I-V и C-V |
210В/1А, разрешение 0,1 фА, от 1 кГц до 10 МГц Для определения характеристик мощных элементов, элементов с высокой диэлектрической проницаемостью к и субмикронных КМОП-элементов. В комплект 4200A-SCS-PK3 входят: - параметрический анализатор 4200A-SCS - (2) Модуль 4200-SMU - (2) 4210-SMU - (2) Предусилитель 4200-PA - (1) Модуль измерения вольт-фарадных характеристик 4210-CVU - (1) Тестовая оснастка с приставкой для тестирования 8101-PIV |
4200-BTI-A Сверхбыстрый измеритель температурной нестабильности при отрицательном/положительном смещении |
Для достоверных измерений температурной нестабильности при отрицательном/положительном смещении современных кремниевых КМОП-элементов. В комплект 4200-BTI-A входят: - (1) Модуль сверхбыстрого измерения ВАХ 4225-PMU - (2) Модули дистанционного предусилителя/коммутатора 4225-RPM - Пакет ПО для автоматического определения характеристик (ACS) - Сверхбыстрый модуль для тестирования температурной нестабильности при смещении - Провода |
Видеоматериалы:
Top 7 Characterization Tests for MOSFETs
Make I-V and C-V Measurements up to 2X Faster with the 4200A-SCS Parameter Analyzer
Nanoseconds or Nanometers Going for Single Digits with Next-Generation Semiconductor Technologies
How to make automatic I-V and C-V measurements
Improving Characterization and Measurement Practices for Research
Sensors and Semiconductors Testing Materials for Tomorrows Smart Devices
Tips and Techniques to Simplify MOSFET-MOSCAP Device Characterization
SiC- GaN Components - 5 Key Tests
4200A-SCS Parameter Analyzer Product Overview Video
Документы
4200A-SCS_Datasheet_051420
3.1 Мб